Moyens associés

• SMM : microscope à sonde locale électrique micro-onde
• C-AFM : microscope à force atomique à pointe conductrice
• Station de mesure sous 4 pointes micro-positionnées

Applications

• Mesure des propriétés électriques d’un matériau :
  • Permittivité
  • Concentration de dopants
• Topographie dimensionnelle et électrique d’une surface à l’échelle nanométrique
• Mesure de propriétés de transport d’un matériau
• Mesure de résistance électrique et de courant de grande précision

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